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中国最先进公开EUV光源原型亮相工博会
原始标题:According to Liberation Daily, Landau Suiyan showcased China's most advanced publicly displayed EUV light-source prototype at the China I...
内容摘要
据解放日报报道,Landau Suiyan 在中国国际工业博览会展出中国最先进的公开 EUV 光源原型,国产化率达 90%,核心部件多为自研,采用与国际龙头相同的技术架构,已具备芯片曝光测试条件。EUV 光源是 sub-7nm 芯片制造三大核心部件之一,长期受海外垄断与出口管制,是中国芯片自主的关键瓶颈。
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